УДК: 621.382 ББК: З233 ISBN: 5-06-000306-РҐ Брошура
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
Всі категорії
Вся тематика
Техніка. Технічні науки
Енергетика. Радіоелектроніка
Електроенергетика. Електротехніка
05.12.2000 -- М. : Высшая школа
Брошура
Навчальне видання
Шифр:З233
Авторський
знак:Т38
Мова:rus
Додаткові відомості щодо назви :
Учебное пособие для проф.-тех. училищ
Відомості про
відповідальність : С.Н. Никифорова-Денисова
Номер
частини : Кн.4
Назва частини : Механическая и
химическая обработка
Ілюстрації : ил.
В книге
описаны технологические процессы механической и химической
обработки полупроводниковых пластин: резка, шлифовка,
полировка, скрайбирование, разламывание, химическая очистка
и травление. Приведены режимы обработки, характеристики
используемого о борудования, последовательность и
особенности выполнения операций, методы контроля качества и
формы поверхности пластин.
Дата внесення :
05.12.2000
Переглядів: 0
Популярність: 0%
